坩埚材质

有机材料/金属

坩埚盖

实际应用说明

(以不同的材料特性建议)

特质

SUS304

有机材料(熔融、升华)

蜂巢式+均热板

温度400° ~ 450°C

1.不易损坏，但容易变形

2.导热性较差(需搭配均热板)

3.坩埚本体与上盖螺旋纹易卡住

Ti

有机材料(熔融、升华)

蜂巢式+均热板

温度400° ~ 450°C

1.硬度较佳，且保温效果佳

2.热传导性差，故加热线圈必须与Housing贴

合 ，才能达到较佳的控温

石墨

有机材料(熔融、升华)、金属

小开口搭配大开口

温度500° ~ 1200°

1.易碎、不易清洗

2.有较佳的热传导，且保温效能较好

3.可耐高温

Inconel 625

CSF (抗氧化、抗腐蚀性能)

温度300° ~ 700°

1.可抗腐蚀性

2.易变形、但清絜容易

Al2O3

有机材料(熔融、升华)

蜂巢式+均热板

温度300° ~ 700°

1.易变形

2.导热性较佳 ，较适用于熔融材料)

3.材质较软，材料附着后，不易清洁

PBN

有机材料(熔融、升华)、金属

小开口搭配大开口

温度500° ~ 1200°

1.易碎、不易清洗

2.有较佳的热传导

3.可耐高温